UE Physique et chimie de la micro-électronique

Ce cours se concentrera sur la préparation et les propriétés physiques des différentes étapes de préparation des éléments structurées permettant le développement de la micro-électronique.

Ce cours présentera les différents aspects de la chimie dans la micro-électronique, les différentes étapes de préparation permettant la production de MEMS (microsystème électromécanique) ainsi que les techniques optiques de caractérisation des différentes étapes d’élaboration des matériaux utilisés dans la micro-électronique.

Notions sur les propriétés isolantes/métalliques ou semi-conductrices des matériaux. Notions de synthèses chimiques des matériaux. Notions d’optique.