Autre durée
3 jours
Composante
Grenoble INP - Département Formation Pro
Présentation
Objectifs
- Avoir une vue d’ensemble de la fabrication des circuits intégrés : les différentes étapes et la logique de leur enchainement
- Découvrir l’environnement d’une salle blanche et l’utilisation des équipements associés
- Mettre en œuvre les différentes étapes de fabrication de composants transistor à partir d’un substrat de silicium
- Manipuler les moyens de caractérisation associés aux différentes étapes et à la validation du fonctionnent final
Nos atouts pédagogiques
Cette formation s’appuie sur les moyens techniques que met à disposition l’école Grenoble INP - Phelma, UGA et en particulier ses filières Physique Nanosciences (PNS) et Nanotech. Elle se déroule en grande partie au sein de la salle blanche de la plateforme CIME, unique plateforme de ce type en France dédiée à la formation.
Les intervenants sont chercheurs et enseignants-chercheurs permanents au laboratoire IMEP LAHC.
Les plus de la formation
- La formation est essentiellement pratique. Les apports théoriques se font au fur et à mesure des manipulations
- Deux jours entiers en salle blanche pour pratiquer les différentes étapes de fabrication
- Une demi-journée pour pratiquer sur les outils de caractérisation électrique
Organisation
Contrôle des connaissances
Quizz d’acquisition des connaissances en début et en fin de formation.
Programme
Jour 1
Matin (cours) :
- Présentation de la salle blanche et des étapes technologiques de base
- Rappel sur le fonctionnement des composants et des enjeux de l’électronique
Après-midi (Salle blanche) :
- Nettoyage des substrats
- Oxydation thermique
- Visite de la salle blanche dans son ensemble
Jour 2
Matin (salle blanche) :
- Photolithogravure du poly silicium
- Mesure des motifs
Après-midi (salle blanche) :
- Implantation/diffusion des sources et drains
- Ouverture des contacts
Jour 3
Matin (salle blanche) :
- Dépôt d’aluminium
- Photolithographie des contacts
Après-midi (salle de caractérisation électrique) :
- Présentation des méthodes de caractérisation électrique
- Caractérisation des composants fabriqués en salle blanche
Admission
Conditions d'admission
Pour qui ?
Ce stage s'adresse à des techniciens, des ingénieurs, des commerciaux en contact avec le monde de la microélectronique par leurs activités professionnelles (par exemple salariés dans des entreprises fournisseurs d'équipements pour salle blanche).
Il n’est pas destiné à former des opérateurs en salle blanche mais à apporter une vision globale des procédés mis en œuvre dans cette filière et à faire découvrir l’environnement d’une salle blanche.
Pré-requis : connaissances de base des phénomènes de la physique et la chimie (niveau Bac ou équivalent)
Effectif : 3 à 8 personnes
Tarifs de la formation continue
3 100 € / personne