Elaboration des matériaux par plasma / Elaboration of materials by plasma

Objectifs :    
Ces travaux pratiques effectués en Salle Blanche servent à illustrer les cours de Traitement et élaboration des Matériaux par Plasma (TP Plasma) et les cours de semi-conducteurs et des technologies couches minces associées (TP Salle Blanche).

Le TP Salle Blanche sert à mettre en pratique les principaux procédés technologiques mises en œuvre dans la fabrication des circuits intégrés en technologie silicium; à sensibiliser les étudiants aux contraintes techniques imposées par l’environnement spécial de la salle blanche. Dans ce cadre les étudiants auront à élaborer entièrement un dispositif intégré simple : le condensateur MOS (Métal-Oxide-Semiconducteur). Puis, ils aborderont les techniques de tests électriques des composants intégrés. ces TPs sont effectués au CIME MINATEC

Les TP plasmas, illustrent le cours traitement et élaboration des plasmas. Ils se font dans la salle blanche
du CEA/LETI sur les réacteurs plasmas industriels 200 et 300 mm du LTM (Laboratoire des technologies de la Microélectronique).

Cours de traitement et élaboration des matériaux par plasmas.
Physique des semi-conducteurs et des dispositifs électroniques
Technologie de la microélectronique