Modélisation et fabrication des microsystèmes / Modelling and characterizations of microsystems

Diplômes intégrant cet élément pédagogique :

Descriptif

Initiation à la modélisation et à la caractérisation de MEMS (Micro-Electro-Mechanichal-Systems).

1 Introduction aux Micro et Nano Systèmes
    1.1 Introduction générale
    1.2 Microactionneurs et Microcapteurs
    1.3 Effets d'échelle et facteurs limitant
2 Modélisation des Micro Nano Systèmes
    2.1 Introduction
    2.2 Modèles de transducteurs à constantes localisées
    2.3 Dynamique de structures élémentaires : poutres, plaques, membranes
    2.4 Modèles à constantes réparties ; analogies électriques - mécaniques
3 Méthodes de caractérisation des microsystèmes
      3.1 Caractérisations électromécaniques
      3.2 Caractérisations optiques

 

Introduction modeling and characterization of MEMS (Micro-Electro-Mechanichal-Systems).

1 Introduction to Micro and Nano Systems
    1.1 General introduction
    1.2 Microactuators and Microsensors
    1.3 Scale effects and limiting factors
2 Modelling of Micro Nano Systems
    2.1 Introduction
    2.2 Models of transducers with lumped parameters
    2.3 Dynamics of elementary structures: beams, plates, membranes
    2.4 Distributed constant models; electrical  mechanical analogies
3 Characterization techniques for microsystems
    3.1 Electromechanical characterization
    3.2 Optical techniques

Pré-requis

Physique générale, électrocinétique, Résistance des matériaux, Calcul scientifique.

 

Physics,  Material science, Mechanics, Electrical circuits

Bibliographie

Microsystem Design. S.D Senturia ISBN 978-0-306-47601-3

Informations complémentaires

Lieu(x) : Grenoble - Saint-Martin d'Hères
Langue(s) : Francais